MEMS陀螺儀對捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)的姿態(tài)誤差產(chǎn)生直接影響，其主要表現(xiàn)是MEMS陀螺儀固定常值漂移、陀螺儀的安裝誤差對陀螺儀的影響，其誤差模型形式和其它陀螺誤差模型形式類似。由于MEMS陀螺儀的精度相對比較差，每小時達到幾十度每秒的漂移，可以忽略交叉二次項，由此可得基于MEMS器件的捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)中MEMS陀螺儀的誤差模型方程為：

        W_x=ω_x0+E_x1ω_x+E_xyω_y+E_xzω_z+D_1xα_x+D_2xα_y+D_3xα_z+ξ_x

        W_y=ω_y0+E_y1ω_y+E_yxω_x+E_yzω_z+D_1yα_x+D_2yα_y+D_3yα_z+ξ_y           （3.1）   

        W_z=ω_z0+E_z1ω_z+E_zxω_x+E_zyω_y+D_1zα_x+D_2zα_y+D_3zα_z+ξ_z                                                                                                                                                                                     

式中，

W_x、Wy_、Wz—— 分別為彈體軸X、Y、Z陀螺角速度實際測量值。單位：°/s；

ω_x0、ω_y0、ω_z0 —— 分別為彈體軸X、Y、Z向陀螺的常值漂移。單位：°/s；

ω_x、ωy、ω_z —— 分別為彈體軸X、Y、Z陀螺角速度理論值。單位：°/s；

 α_x、α_y、α_z—— 分別為彈體軸X、Y、Z加速度理論值。單位：g；

 E_x1、E_y1、E_z1——分別為彈體軸X、Y、Z向陀螺標度因子；

E_xy、E_xz分別表示為飛行器繞彈體坐標系Y軸和Z軸旋轉(zhuǎn)時對陀螺儀X軸向輸出影響的系數(shù)，為安裝誤差。它主要是由于陀螺儀的Y軸和Z軸對X軸的不垂直而造成的；

E_xy、Ezy分別表示為飛行器繞彈體坐標系X軸和Z軸旋轉(zhuǎn)時對陀螺儀Y軸向輸出影響的系數(shù)，為安裝誤差。它主要是由于陀螺儀的X軸和Z軸對Y軸的不垂直而造成的；

E_xz、Eyz分別表示為飛行器繞彈體坐標系X軸和Y軸旋轉(zhuǎn)時對陀螺儀Z軸向輸出影響的系數(shù)，為安裝誤差。它主要是由于陀螺儀的X軸和Y軸對Z軸的不垂直而造成的；

D_1x、D_1y、D_1z——分別為陀螺三通道受X軸向的視加速度的影響造成的漂移系數(shù)。單位：(°/s)/g；

D_2x、D_2y、D_2z——分別為陀螺三通道受Y軸向的視加速度的影響造成的漂移系數(shù)。單位：(LSB/s)/g；

D_3x、D_3y、D_3z——分別為陀螺三通道受Z軸向的視加速度的影響造成的漂移系數(shù)。單位：(°/s)/g；

ξ_x、ξy_、ξz——為隨機漂移，是不可知的因素造成的測量誤差。

由于重力分量對MEMS陀螺儀輸出影響不大，因此可以忽略與加速度有關(guān)的各個系數(shù)，在實驗中，可以簡化MEMS陀螺儀的誤差模型：

                W_x=ω_x0+E_x1ω_x+E_xyω_y+E_xzω_z+ξ_x

                W_y=ω_y0+E_y1ω_y+E_yxω_x+E_yzω_z+ξ_y

                W_z=ω_z0+E_z1ω_z+E_zxω_x+E_zyω_y+ξ_z